Product Description
- 派迅智能Stocker晶圆存储柜主要用于洁净室内半导体生产工序及工序之间晶圆盒的存储，根据无尘室可利用空间，灵活定制各类型STK，实现空间最大化。根据客户需求，可支持带净化功能。
Product parameters
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类 别 |
产 品 参 数 |
| 洁净度 |
Class 10-1000 |
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温度 |
23+2 °C |
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湿度 |
45+5% |
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震动 |
<0.5 g |
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负载 |
≤20 kg |
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产品类型 |
FOUP/FOSB/OC/CASSETTE |
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噪音 |
≤75 dB |
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主行速度 |
Max: 90 m/min |
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上升/下降速度 |
Max:72 m/min |
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定位精度 |
土0.5 mm |
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CT |
<20 sec |
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Port |
AUTO PORT/MANUAL PORT |
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Port Setting |
Auto Teaching |
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PC |
2 台 (双机热备) |
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UPS |
1 台(能给主机信号，断电后SCS电脑自动关机) |
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通讯 |
Ethernet |
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维修平台 |
STK一侧设置维修平台，方便Crane维护 |
No. 28 Heshun Road, Suzhou Industrial Park, China 
+86 13451983657 
sales@passioniot.com 